RC 6化學雜交泵是將一個雙級旋片泵和一個雙級化學隔膜泵結合在一起，達到耐腐蝕效果。隔膜泵用以維持油腔內的真空度，使溶劑蒸汽的分壓保持在它們的露點之下，大大減少氧化性或腐蝕性氣體的冷凝。因此RC 6化學雜交泵和常規的旋片泵相比，有更大地溶劑蒸汽抽取能力及對腐蝕氣體的耐受性。PC 3/RC 6版本 - 用于大量蒸汽 - 在進氣前端連接冷阱用以捕獲蒸汽冷凝物。

性能特性 減少內部腐蝕，即使抽取腐蝕性氣體仍然如此 

與單獨的旋片泵相比，減少了90%以上的油消耗

真空系統PC 3 / RC 6，進氣口配備冷阱，用以處理大量的蒸汽  

采用“鏡筒”式設計，易于維護